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哪些因素會造成STS壓力傳感器精度的誤差呢?
點(diǎn)擊次數(shù):1095 更新時(shí)間:2020-08-25
  近經(jīng)常有人問我們STS壓力傳感器的綜合精度和非線性誤差之間有什么關(guān)系,綜合精度包含哪些方面,哪些因素會造成STS壓力傳感器精度的誤差呢?今天我來給大家說說這其中的關(guān)系,其實(shí)造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們說四個(gè)無法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。
  1、非線性誤差:這是一個(gè)對STS壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
  2、偏移量誤差:由于STS壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
  3、靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。
  4、滯后誤差:在大多數(shù)情形中,STS壓力傳感器的滯后誤差可以忽略不計(jì),因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
 

  STS壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,利用高新技術(shù)來降低這些誤差,還可以在出廠的時(shí)候進(jìn)行的誤差校準(zhǔn),盡大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。
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